通过构建分散模块化系统，子系统分担过程控制以外的功能控制，从而确保主控制器的资源集中用于晶片过程控制。
同时采用高速、低抖动且具有实时性的EtherCAT，确保过程控制精准重复。
工业企业重新化
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NX-ECT101
NX系统 EtherCAT® 从站单位
支持EtherCAT实现高速数据交换
的信息发布: 2030年4月14日
信息查询更新时间: 2030年九月份14日
EtherCAT 借助自律分散系统、提升半导体设备的附加价值
确保晶片过程控制精准重复
缩短设备设计开发周期
通过分散模块化实现并行开发。此外，使用NX-ECT101并与EtherCAT整合，减少需要学习操作的工具。
使用自动化软件Sysmac Studio整合运动、安全、传感等开发环境。
由此，能够缩短设计开发周期及设计人员培训时间。
减少占地面积
NX系列在兼顾了控制与安全的同时，宽度也仅有102mm。
相较于其它公司的产品，尺寸缩减了48%*1，有助于减少占地面积。
简化维护工作
需途经核算机的的操作方法，仅需动用SD数据库卡如要达到系统程序流程图强制升级。 然而，还才能规避系统程序流程图因误的的操作而遭叙写，可愉快、合理地去维持。
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