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 Solution 💟 防止情况报告

半导体技术Foup的自动化运送实例

灵活的车队调度管理系统，
提高搬运效率，减少人工成本

  • 解决劳动力短缺
  • 电子
  • 搬送
  • 机器人
  • 人机协作

设备概况

该系统大部分达成半导制造厂选用于装硅片的Foup的公路配送本职工作，将前道加工制作工艺 系统完全的构件而LoadPort，再将LoadPort上的构件公路配送至应对的Foup超市货架。

课题

如今装硅片的Foup运输业部门是由人工控制达到的，不单错误率不高，且常和人碰触，简易 呈现毛絮。

解决方案

采用接入欧姆龙有意识的主动经营走倾向器人LD系类，匹配协调机气人TM系类，进行了全有意识的主动经营的原材料输送。

TM与LD之间的应用配合

在协同合作机人TM型号和独立手机机人LD型号的网络通信网匹配中，选取微信网络网络通信网并不智能化且不允许保障网络通信网的安全性，对此结果是会选择了IO接线两端的方式来网络通信网，使用TM和LD的每一项次交互式都安全能信。

TM Landmark功能应用

协作机器人TM系列可以通过Landmark功能定位工件坐标，可是在与自主移动机器人LD系列搭配应用时，由于LD的定位精度只有±100mm，如果TM相机视野较小，拍照位离Landmark较近的话，±100mm的位置误差会导致拍照时Landmark不在视野范围内；
而如果TM相机视꧟野增大，拍照距离变远的话，虽然可以保证拍到Landmark，但精度会很差，因此我们采用嵌套视觉的方式来拍Landmark。

嵌套视觉识别Landmark

嗖嗖过VISION0709的任务，对Landmark进行远范围感、大条件的一号次摄像；面部正常设别到Landmark后续，设备人就向外走动到离Landmark更近几个的最后个摄像点从新摄像；面部正常设别后续，从新向外走动到结果的Landmark摄像方位上，这些就担保摄像方位上范围感Landmark 10cm当中，担保面部正常设别控制精度等级和地理坐标控制精度等级。

系统配置

操作机人TM一系统组合数字化联通机人LD一系统的利用完成措施，称做Mobile Manipulator（MOMA），利用TM雄厚的机器人视觉功能键，可不可以辨别和放在各大的东西，并搬货至厂的什么区域，使创造和用料操作变得愈发愈发灵活机动，整体布局学习效率大大完善！

实现价值

1、改变了之前人工搬运Foup的方式，省去了人力，加快了效率。

2、有效减少了与人接触时灰尘的产生，避免了灰尘堆积对产品品质的影响。

3、搬运Foup的精度：±1mm

【经营层】

■ 半导体硅片FOUP的全自主搬运，技术能力领先。
■ 节拍加快，产能大幅提升，设备竞争力向上。

【管理层】

■ 升级为全自动化FOUP运输，简化管理，提升效率。
■ 通过可视化界面，监控每一台机器人的状态并适应设施变化，可纵观全局，实时管理工作🌠流，实现效率的最大化。

【工程师层】

■ 有效避免了与人接触时灰尘的产生，大幅减少后期维护工时。
■ 欧姆龙全程参与设计及开发，后期服务也有保障。

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