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 Solution 避免策划方๊案

半导体设备(SEMI)附膜晶圆载荷检测工具的应用领域

控制算法的优化,实现温度的实
时监控,提升良品率

  • 解决劳动力短缺
  • 品质提升
  • 电子

工艺介绍

在高溫生态环境中,是因为化学上的气相色谱仪沉淀(CVD)的金属涂层与晶圆的彭胀率多种,更易形成线条弯曲,弯曲则会形成地应力应变,在多个的频繁加工厂中地应力应变会愈来愈越大,既定使得晶圆损毁损毁。以至于化学工业气相色谱岩浆岩(CVD)镀晶的分析工装夹具常常选用离子束去内承载力退火的措施来消掉内承载力,最后的根据内承载力检验机认定消掉效用,以作成型内承载力把控的反馈控制。
机械设备自动化测试包块(EFEM)将晶圆原材料检查测量的腔内,接着晶圆经旋转运送至干涉仪仪的检查测量的眼界比率中检查测量变形量,能够刚度算起确定固溶处理高品质后,再旋转运送至机械设备自动化测试包块(EFEM)进行OK/NG的定义。

课题

1、如何精准地采集实时温度

现阶段时域经常见的滤波办法,一般值(AVE)办法维持性好,可抗干拢差;中位值(MED)办法抗干拢好,可维持力差,在搜索干拢较高的情形下,什么的工具就任意是一种滤波不易深度贫困想要高效率的获取到到实时视频的的温度值。

2、如何快速响应细微的温度变化趋势?

解决方案

1、经验分布统计+专业的建模计算,推算批量数据

确认有现的摄氏度抽样值,举例重心的基准线摄氏度值、变换前景、判断时间,并用大的数据分析信息仿真模拟系统确保了更多合适的的RMS滤波java算法,末尾进行技术分布图制作涵数推算出来/模拟系统出大规模的实时路况摄氏度的数据信息。

2、通过数学期望算法,实时估算基准值

前提是实现数学课期待值绘图,然而采集程序刚开始探测的温值(过虑后),后借助一产品的计算,在各式各样測量中预测分析出基准线温值。

控制系统

实现价值

1、精度

滤波后的实时交通湿度与湿度感测器器示数相一致,起伏合理的,抗串扰性强

2、效率

室内温度变化无常探知敏感度升级1倍,出现异常运行速度升级15%。

【经营层】

■ 在半导体芯片(SEMI)顺畅的发展趋势趋势下,快速的预防整个市场变化规律,借助发达的梯度下降法避免晶圆易坏掉彻底报废的行业领域课题研究方案,大幅度上升专用设备稳定性,助力器创建行业Top价格竟争力。

【管理层】

■ 晶圆沉积工艺品质的提升,完全建立在控制系统与程序的优化,无需更改机械结构和运动时间,导入时间更快且成本更低。
■ 欧姆龙机械自动化控制器NJ/NX系列,ಞ可实现现场生产数据的采集、存储、分析,改善管理课题,提高生产效率。

【工程师层】

■ 通过滤波解决温度课题,节省了两周的开发时间。
■ 大量的专业的建模计算模拟运用大幅度提升了调试效率。

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