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🉐  Solution  处理好方案格式 🃏

半导（SEMI）附膜晶圆压力监测的运用

控制算法的优化，实现温度的实
时监控，提升良品率

  • 解决劳动力短缺
  • 品质提升
  • 电子

工艺介绍

在较高温度室内环境中，因为药剂学气质联用的堆积（CVD）的纳米涂层与晶圆的开裂率多种，特别容易行成边缘塑性变形，塑性变形则会行成能力，在多层住宅的波动处理中能力会越变越大，结果英文使得晶圆毁坏毁坏。因为普通机械气相色谱仪沉积物（CVD）汽车镀膜的细分市场工装夹具大多数安全使用脉冲光固溶处理的玩法来消灭热刚度，还有进行热刚度查重机核实消灭结果，以作确立热刚度把控的开环。
机械自动化测试包块（EFEM）将晶圆供应给预估腔内，紧接着晶圆经反过来车辆搬运至打搅仪的预估视域面积中检侧变形量，顺利通过压力统计评判退火处理品質后，再反过来车辆搬运至机械自动化测试包块（EFEM）做OK/NG的分类整理。

课题

1、如何精准地采集实时温度

现如今时域上常见的滤波具体方法方法，差不多值（AVE）具体方法方法不稳性好，可抗打扰差；中位值（MED）具体方法方法抗打扰好，可不稳能力差，在复制粘贴打扰较多的前提下，从而到任意的一种滤波根本无法精确调用到实时的的气温值。

2、如何快速响应细微的温度变化趋势？

解决方案

1、经验分布统计+专业的建模计算，推算批量数据

完成有效的的湿度抽样值，举例说明中心站的系数的湿度值、的变化发展趋势、断定时间间隔，并的使用大数值逼真断定了较为适合自己的RMS滤波数学模型，最后一步经历过的经验分散方程推算出来/仿真模拟出大量的进行的湿度数值。

2、通过数学期望算法，实时估算基准值

第一步创立数学分析盼望建模，那么搜集着手的检测的气温值（过滤水后），之后凭借一系类的测算，在动态数据估测中估计出基准点气温值。

控制系统

实现价值

1、精度

滤波后的24小时温与温感测器器示数高度，下跌正确，抗电磁波辐射性强

2、效率

室温变动觉察精准度加快1倍，崩溃转速加快15%。

【经营层】

■ 在半导（SEMI）比较好的壮大行行业前景下，更快如何应对市场上发展，能够 现代化的汉明距离解决处理晶圆易烧坏不能用的行行业难题，幅度自动升级设施功效，帮助做强行业Top竟争力。

【管理层】

■ 晶圆沉积工艺品质的提升，完全建立在控制系统与程序的优化，无需更改机械结构和运动时间，导入时间更快且成本更低。
📖■ 欧姆龙机械自动化控制器NJ/NX系列，可实现现场生产数据的采集、存储、分💃析，改善管理课题，提高生产效率。

【工程师层】

■ 通过滤波解决温度课题，节省了两周的开发时间。
■ 大量的专业的建模计算模拟运用大幅度提升了调试效率。

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