可以实时反馈超高分辨率线性标尺的检测值,闭环控制线性电机。通过把对轨迹精度影响最大的控制周期(伺服周期)调整至50μs/8轴,就能正确实现XY轴的同步。
此外还搭载了位置、速度、扭矩、电流全闭环控制等伺服算法,因此用户可以自由进行软件设定,构建ꦅ与设备规格相匹配的运动控制系统,加速瓶颈工序,提高设备的产量ꦇ。
米乐m6技术“Spectral Decomposition(频谱分解)”同步XY载物台和电流扫描仪动作,在执行想要绘制的轨迹程序时,会自动分配两个指令给XY载物台和电流扫描仪并单独运行。大范围的动作分配给载物台,需要高响应的动作分配给电流扫描仪,以两个动作描绘一条轨迹,在不停止载物台的情况下进行连续加工。
可实现高速的无缝加工,兼顾生产效率和稳定的加工品质。