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Solution 满足工作方案 🍃

Mini LED晶圆快速路高精密度激光手术隐切

微米级精度控制，引领电子行业“芯”发展

  • 生产性提高
  • 加工
  • 高速高精度加工

工艺介绍

脉冲智能机械隐切，即脉冲智能机械没公开分割，是近些年主导者的集成电路心片分割方法。种方法能够将小工率的脉冲智能机械焦点在一位长度仅有100多nm的光点上，导致强大的小面积的热量，第二将晶圆分割开，可以有作用解决大工率脉冲智能机械对集成电路心片出现的决定。

课题

1、晶圆表面翘曲，切割精度难以保证

因晶圆漆层翘曲，打磨晶圆时假设不了即时判别其角度，激光行业话题便不了精确度落在晶圆改质层，使得打磨精准度降低。

2、激光在加速、减速和转角段打出不均匀

随着部位拖动的部位锁存高精准度较低，针对在网络速度有变化无常或圆楼梯的的情况下，激光手术不可一致地影响在被激光加工工艺电线电缆或其他需要套屏蔽防波套的物体上，才能造成 过渡激光加工工艺等这种现象。

3、平台控制精度、响应度不高

也许存在着仿真仿真模拟机输出侵扰、仿真仿真模拟机输出非线功能、仿真仿真模拟机输出零漂，或伺服控制器器瞬时电流环超时等影晌，导致电商平台体育运动迟滞，相应性和的精密度问题。

解决方案

1、实时高度跟随控制

水刀切割晶圆时，顺利通过位移调节器器时时估测物料表层细微程度动荡，并时时弥补到离子束器器存在的Z轴，抓好离子束器着重高精度落在晶圆改质层

2、高速位置比较输出控制

利用收集实时公交的编写代码器反馈机制展开具体位置会比较，与二氧化碳激光器微信同样输入无线信号展开相位微信同样，在有氧运动规迹的任何时段.以固定的区域（而不是时长）间隔时间收集高数剧，为了确保高不跟随算法为基础的精度等级保障。
所以，更好制止了机光在t加速、低速和拐角段的导致过度生产等，使机光平均地目的在被生产物质上。

3、PWM（脉冲宽度调制）控制技术

能够 掌握器随便涌现出按钮量无线信号，经马力变成电源模块后随便掌握三相电机交流电值环。无仿真系统量干挠、无仿真系统量非线的特点、无仿真系统量零漂，无驱动软件器交流电值环廷迟，使网上平台体育移动快速，更随便，不断提升体育移动加载失败性和平稳要求。

控制系统

■ 可编程多轴运动控制器 CK3M系列
■ 光纤同轴位移传感器 ZW-7000 / 5000系列

实现价值

1、高度跟随精度

FROM
大于10μm
TO
小于±5μm

2、激光切割速度

FROM
500~600mm/s
TO
800mm/s

【经营层】

■ 实时监控极度跟风，满足毫米级的表面粗糙度管理，提升自己切表面粗糙度，感触可以通过服务行业内最高的等级保护的激光束隐切技艺，领着光电子服务行业的“芯”进展。

【管理层】

■ 欧姆龙可编程多轴运动控制器兼容第三方产品，使客户拥有更多的选择空间，提供丰富灵活的系统搭配。
𒁏■ 高度跟随精度及切割速度的提升，完全建立在控制系统与程序的优化，导入时间更快且成本更低。

【工程师层】

■ 欧姆龙可源程序多轴移动控住器CK3M系统，原带更新自学的方式习等各种计算方式，可直接性取用，调节简洁，激发周期长短。
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