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Solution 🐓 应对计划

Mini LED晶圆快速高误差脉冲光隐切

微米级精度控制，引领电子行业“芯”发展

  • 生产性提高
  • 加工
  • 高速高精度加工

工艺介绍

脉冲机光束隐切，即脉冲机光束隐藏锯开，是近几年新趋势的处理存储芯片锯开的技术水平。各种的技术水平需要将小工作工作功率的脉冲机光束聚焦点在一尺寸仅有100多微米的光点上，行成庞大的位置人体脂肪，接着将晶圆锯开开，可以有工作效率防范大工作工作功率脉冲机光束对处理存储芯片会造成的的影响。

课题

1、晶圆表面翘曲，切割精度难以保证

伴随晶圆外表面翘曲，打磨器晶圆时要是无非实时监控判别其程度，脉冲光热点便无非明确落在晶圆改质层，会导致打磨器误差下跌。

2、激光在加速、减速和转角段打出不均匀

由高宽比锁定目标的地点锁存精密度较较低，非常在转速有转变 或拐角处的实际情况下，激光行业不好透亮地角色在被处理材料上，因此出现优化处理等干涉现象。

3、平台控制精度、响应度不高

可能发生模似量侵扰、模似量非线性状、模似量零漂，或win7伺服控制器电流大小环延期等直接影响，以至于工作平台健身运动相对比较缓慢，相应性和控制精度缺点。

解决方案

1、实时高度跟随控制

智能机械切晶圆时，使用位移感知器城市热力图更新在测量好产品外表面细小非常起伏较大，并城市热力图更新拆迁补偿到智能机械器所处的Z轴，抓好智能机械大家都讨论精确度落在晶圆改质层

2、高速位置比较输出控制

根据采集器工具实时日期的数字器评价做好地点相比，与离子束器同样输入数字信号做好相位同样，在有氧运动旅途的几乎所有环节以节流过程的前景（之所以日期）间隔时间采集器工具较高数据源，事关较高拾取java算法的高精度做到。
因而，更好尽量避免了机光机器在变快、减速时和转角处段的神经太过紧绷机光加工制作等，使机光机器平滑地做用在被机光加工制作电线电缆或其他需要套屏蔽防波套的物体上。

3、PWM（脉冲宽度调制）控制技术

能够 调控器可以性生产出触点开关量预警，经输出变小输出模块后可以性调控高压电机瞬时电压电流环。无养成量不干扰、无养成量非线的特点、无养成量零漂，无推动器瞬时电压电流环推迟了，使的平台锻炼更加快，更可以性，完善锻炼卡死性和平稳精密度。

控制系统

■ 可编程多轴运动控制器 CK3M系列
■ 光纤同轴位移传感器 ZW-7000 / 5000系列

实现价值

1、高度跟随精度

FROM
大于10μm
TO
小于±5μm

2、激光切割速度

FROM
500~600mm/s
TO
800mm/s

【经营层】

■ 公交实时的高度跟着，满足纳米级的计算计算精度控住，提高了裁割计算计算精度，想法完成浴霸最快定级的离子束隐切能力，领着电子为了满足电子时代發展的需求，服务行业的“芯”發展。

【管理层】

■ 欧姆龙可编程多轴运动控制器兼容第三方产品，使客户拥有更多的选择空间，提供丰富灵活的系统搭配。
■ 高度跟随精度及切割速度的提升，完全建立在控制系统与🏅程序的优化，导入时间更快且成本更低。

【工程师层】

■ 欧姆龙可代码多轴锻炼操纵器CK3M一系列，原机优化通过自学的方式习等各种各样汉明距离，可直接的取用，复位简单，建设生长期短。
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