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EE-SPY801 / 802

晶圆片固定支架入席感测器器

EE-SPY801 / 802

晶圆片托架的落座检测

数据升级: 201两年多16月19日

通过与导槽并用的方式设定落座位置

与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂

独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架

采用抗干扰光的变调光方式

使用环保导线（无滑石粉）

数据信息最新: 2016年1二月19日

产品类别

传感器
- 微型光电传感器
  - 用途分类
    - EE-SPX613
    - EE-SPY801 / 802
    - EE-SA701 / 801

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