NX-HTC

NX系列的高耐热性温度控制象限

NX-HTC

既节省空间，又具备出色温控性能

资料更新软件: 202一年的五月份12日

满足因半导体微型化和层叠化而日益严苛的温控要求

为实现高度数字化的社会，半导体日益微型化、层叠化，温度对产品质量的影响也随之增大。
NX-HTC通过节省空间和可视化特征量，助力满足꧑严苛的温控要求，൲进而提高产品质量和生产效率。

节省空间，维持占地面积，实现多点控制

【话题】为了能让更精准地量测的温度，所需多温度控制器点数，这会多装置数，难确保目前拥有征占绿地面积

维持占地面积，实现多点控制

每台单元支持8Ch控制*1。
与使用两台传统产品NX-TC 4Ch相比，
在宽度方面节省了约40%的空间。

*1. 标准控制情况下

搭配小型连接器端子台XW2K，进一步节省空间

会让用尽寸超小的大中型相联接器接插件台和专业高压电缆优化配线，进几步减轻柜体占绿地面积。

提升温控性能，实现精密加工

【难题】所需要的加工厂细密度日趋细密，为了让加快制造的质量，必须要缩小到控温冲击大幅度

实现广范围高分辨率温控

在大量的温度因素区域内符合0.01°C的高分数辨率，有利于促进在气温能力下达成高要求控温。

支持全量程多输入，也可支持非接触式温度传感器输入

【课题】所需的加工精度日渐精密，设备结构的温度会影响质量
需要对管道和阀门等各种位置进行温度测量

可使用非接触式温度传感器进行温控并
监视设备结构的温度。

• 测量温度为-50～500°C、-50～1,000°C
• 重复性为±0.5°C、响应速度为0.14秒（95％）的高精度高速测量。
• 可使用专用软件ES1-TOOLS（可从网站免费下载）监ꩵ视温度或变更辐射率、移动平均功能和输出范围。 ༺

检测工件、设备、环境变化导致的温度曲线的细微变化，从而减少浪费

【课题】• 不可预测的外部干扰引发晶圆翘曲等工件变形现象和
加热器或传感器错位或老化等设备变化导致合格率降低
🅘 • 出现缺陷时，需要花时间调查发🥀生异常的范围和原因

产品、装置、学习环境變化范例

特征量可视化功能

特征量可视化功能可根据生产期间的温度波形和操作量波形自动计算并量化温控指标（源自多年温控知识和经验的指标），可以清晰揭示工件、环境和设备的变化。
通过监视特征量可以检测工件、环境和设备的细微变化。

将出产时期和的温度因素升时期的的温度因素波形参数变换自行转变为的特点量

通过监视特征量数据的趋势，检测工件、设备和环境的变化

将温控仪期内的正弦波形有效的转化为功能量，量化分析服务管理机情况。就此尽快发现机情况问题，四轮驱动减轻通病服务。

将日常干扰造成的温度波动降到最低，最大限度地提高产品质量和生产能力

【课题】• 温控要求因半导体微型化和层叠化而日益严苛，常规外部干扰引起的温度变化会影响品质
• 常规外部干扰导致的温度变化需要等待一定时间才能达到稳定状态，生产ღ能力无法提升

自动抑制常规外部干扰导致的温度变化

比较稳定性自己操作可推测的温暖下跌，如腔室门开闭引发的外链大气流向等。在不断提升自己产品、减短温暖达到比较稳定性情形必备的守候日子，推动不断提升自己生育特性。

助力提升生产能力
通过抑制温度变化，温度达到稳定状态所需的等待时间与以往相比减少了最多80％。
注：本公司实测值数据

使用外部干扰抑制功能将温度变化控制在最低限度

间接电磁波辐射阻止实用功能键键模块一项操控实用功能键键模块，都可以涉及可分析的间接电磁波辐射事先阻止环境温度變化。可采用在间接电磁波辐射会出现前向温度控制器单位插入表现启用本实用功能键键模块以增减进行运行量。采用间接电磁波辐射自主的调谐实用功能键键模块，自主的整改FF（前馈）进行运行量、FF健身动作期限和FF等到期限。