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  Solution ♚ ✱ 处理好计划方案

晶圆槽式清洁工作机高速路高控制精度操作

符合SECS/GEM通讯，
高速生产节拍x超低碎片率

  • 品质提升
  • 缩短开发周期
  • 降低生产成本
  • 电子
  • IoT

应用介绍

氢氟酸处理硅晶圆槽式清理脱水三合一机，核心成分以及：上料机工装夹具、磷化处理槽、凉水槽、碱洗槽、、瑕疵验测工装夹具、脱水机和切料工装夹具。

课题

1、碎片率高

根据炭化硅晶圆较硅晶圆高度薄、抗拉强度强，但是在帮运及的清洗阶段中更好更易皮肤碎片。

2、需满足行业标准（SECS/GEM通讯）

解决方案

1、轨迹曲线控制技术

买家信心在维持迅速音乐节拍的基本前提下，减少泥石率。进行欧姆龙显著的规划斜率操作方法，也能自动式计算公式补偿费用量，以遏制极限速度變化时发生了的误差，表面粗糙度高达hg±0.01mm。
确保安全了整体装卸及难以清理全过程中的运作gps精度，就可以在无差别的条件下已完成一编技术基本操作，有效性降泥石率。

2、满足行业标准（SECS/GEM通讯）

相结合机械操纵和上位流量，可在短期间内以低代价轻松愉快改变SECS/GEM流量。

■ 与上位主机直接通信
无需中转计算机/专用通信单元/软件

■ 有助于设备小型化
CPU单元可直连上位主机

■ 无需年度合约
・降低运行成本

便用SECS/GEM选配，不能自己编译程序就可以变现光纤通信调节。

■ 无需地址设定
变量编程无需地址设定

■ 计算机与机器控制器之间无需编程
使用一台CPU，无需在中转计算机和机器控制器之间通信

■ 使用SECS/GEM配资减短设计制作时间间隔

系统配置

实现价值

1、生产节拍：＜175秒

2、碎片率：＜0.05%，完整率≥99.95%

3、满足行业标准（SECS/GEM通讯）

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