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NX系高效能温度控制器机组 NX-HTC兼顾节省空间
和高性能温度控制

满足因半导体微型化和层叠化
而日益严苛的温控要求

为实现高度数字化的社会,半导体日益微型化、层叠化,温度对产品质量的影响也随之增大。
NX-HTC通过节省空间和可视化特征量,助力满足严苛的温控要求,进而提高产品质量和生产效率。

节省空间,维持占地面积,
实现多点控制

科研项目

想要更确切地在测量环境温度,须要提高温度控制器点数,这会提高机器使用量,很难形成现今拆迁赔偿户型

维持占地面积,实现多点控制

每台单元支持 8Ch 控制*1
与使用两台传统产品NX-TC 4Ch相比,
在宽度方面节省了约40%的空间。

*1. 规范标准调整现象下
维持占地面积,实现多点控制

搭配小型连接器端子台XW2K,
进一步节省空间

能让用长宽高超小的小款衔接器接线端子排台和使用电缆线优化配线,进一部提高柜上负载空间。
BEFORE
AFTER
BEFORE

DIN 导轨端子台
XW5T(P2.5)

AFTER

小型连接器端子台
XW2K-34G-T

提升温控性能,
实现精密加工

研究课题

必备的处理精度等级日趋精密仪器,因为上升的生产質量,一定要有效的减小温度控制器上下波动小幅度

实现广范围高分辨率温控

在宽阔的的温度位置内要具备0.01℃的好成绩辨率,可进一步在高温天气條件下做到高定位精度控温。
BEFORE
AFTER
BEFORE
AFTER AFTER

检测工件、设备、环境变化导致的
温度曲线的细微变化,从而减少浪费

研究

  • 不可预测的外部干扰引发晶圆翘曲等工件变形现象和加热器或传感器错位或老化等设备变化导致合格率降低
  • 出现缺陷时,需要花时间调查发生异常的范围和原因

工件、设备、环境变化示例

特征量可视化功能

特征量可视化功能可根据生产期间的温度波形和操作量波形自动计算并量化温控指标(源自多年温控知识和经验的指标),可以清晰揭示工件、环境和设备的变化。
通过监视特征量可以检测工件、环境和设备的细微变化。

将生产期间和温度上升期间的温度波形变化自动转化为特征量
BEFORE
AFTER

通过监视特征量数据的趋势,检测工件、设备和环境的变化

将温度控制器时期的波形图生成为特征描述量,数量化管理制度专用设施的情况。产生尽早发展专用设施的情况异常处理,促动减小缺陷报告类产品。
BEFORE仅靠监视温度波形,难以捕捉细微变化
BEFORE BEFORE
AFTER通过监视特征量,得以检测细微变化
AFTER AFTER

特征量可视化功能介绍视频

自动抑制常规外部干扰导致的温度变化

平稳自动式操控可推测的室内温度表变化,如腔室门开闭形成的外部链接冷空气流往等。顺利通过完善水平、不但缩减室内温度表完成平稳程序需要备考的期待准确时间,帮助完善工作专业能力。
自动抑制常规外部干扰导致的温度变化

薄膜沉积设备
门开闭时或注入气体时
腔室温度下降

探测器
施加电流时晶圆发热导致
工作台温度上升

浇铸设备
注入树脂时模具温度下降
 

助力提升生产能力
顺利通过缓和体温的变化,体温高于动态平衡情况下必备的在等待时段与近半年较之下降了最好80%。 注:本子公司测量值动态数据
助力提升生产能力 助力提升生产能力

使用外部干扰抑制功能将温度变化控制在最低限度

外边干预限制工作不是项设定工作,可以重要性可预侧的外边干预首先需要限制高温变。可使用在外边干预会出现前向温控仪器单元尺寸导入卫星信号无法本工作以增减运行流程量。使用外边干预智能调谐工作,智能改变FF(前馈)运行流程量、FF瑜伽动作用时和FF超时用时。
常规外部干扰导致温度降低时
使用外部干扰抑制功能将温度变化控制在最低限度 使用外部干扰抑制功能将温度变化控制在最低限度