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NX类别性能米乐m6参数温控仪单元尺寸 NX-HTC兼顾节省空间
和高性能温度控制

满足因半导体微型化和层叠化
而日益严苛的温控要求

为实现高度数字化的社会,半导体日益微型化、层叠化,温度对产品质量的影响也随之增大。
NX-HTC通过节省空间和可视化特征量,助力满足严苛的温控要求,进而提高产品质量和生产效率。

节省空间,维持占地面积,
实现多点控制

的问题

从而更准确度地衡量温湿度,应该添加温度控制点数,这会添加产品规模,不好保护目前有征地赔偿占地面

维持占地面积,实现多点控制

每台单元支持 8Ch 控制*1
与使用两台传统产品NX-TC 4Ch相比,
在宽度方面节省了约40%的空间。

*1. 条件把握实际情况下
维持占地面积,实现多点控制

搭配小型连接器端子台XW2K,
进一步节省空间

促使用长宽高超小的大型连到器接线端子排台和专业级线缆细化配线,进每一步避免柜体挤占建筑面积。
BEFORE
AFTER
BEFORE

DIN 导轨端子台
XW5T(P2.5)

AFTER

小型连接器端子台
XW2K-34G-T

提升温控性能,
实现精密加工

科研课题

需要的制作加工的精细度日趋精细,只为大幅提升工作效果,需要降低了大约温度控制器跌涨艺术

实现广范围高分辨率温控

在宽广的高温环境面积内必备0.01℃的满辨别率,不利于在高温环境标准下保证 高精密度较温控仪。
BEFORE
AFTER
BEFORE
AFTER AFTER

检测工件、设备、环境变化导致的
温度曲线的细微变化,从而减少浪费

科目

  • 不可预测的外部干扰引发晶圆翘曲等工件变形现象和加热器或传感器错位或老化等设备变化导致合格率降低
  • 出现缺陷时,需要花时间调查发生异常的范围和原因

工件、设备、环境变化示例

特征量可视化功能

特征量可视化功能可根据生产期间的温度波形和操作量波形自动计算并量化温控指标(源自多年温控知识和经验的指标),可以清晰揭示工件、环境和设备的变化。
通过监视特征量可以检测工件、环境和设备的细微变化。

将生产期间和温度上升期间的温度波形变化自动转化为特征量
BEFORE
AFTER

通过监视特征量数据的趋势,检测工件、设备和环境的变化

将温度控制器一年后的波形参数导出为功能量,数量化方法设施机器阶段。在此早安排察觉到设施机器阶段错误,机械助力减小缺欠设备。
BEFORE仅靠监视温度波形,难以捕捉细微变化
BEFORE BEFORE
AFTER通过监视特征量,得以检测细微变化
AFTER AFTER

特征量可视化功能介绍视频

自动抑制常规外部干扰导致的温度变化

相对不稳定性自功调整可预计的工作摄氏度浮动,如腔室门开闭引起的外气注入等。实现升降产品、拉长工作摄氏度超过相对不稳定性环境所必需的错过时间段,助力器升降生产加工作用。
自动抑制常规外部干扰导致的温度变化

薄膜沉积设备
门开闭时或注入气体时
腔室温度下降

探测器
施加电流时晶圆发热导致
工作台温度上升

浇铸设备
注入树脂时模具温度下降
 

助力提升生产能力
按照减缓气温发生改变,气温达到了保持稳定情况需要备考的等待中日期与所报相对减轻了总共80%。 注:本装修公司试验值信息
助力提升生产能力 助力提升生产能力

使用外部干扰抑制功能将温度变化控制在最低限度

外链可能调节可能调节特点一项管理特点,可能对应可分析预测的外链可能调节要预先可能调节摄氏度变化规律。可完成在外链可能调节出現前向恒温器单元测试卷投入卫星信号打火本特点以增减实际操作的量。完成外链可能调节一键调谐特点,一键校准FF(前馈)实际操作的量、FF运行用时和FF 待用时。
常规外部干扰导致温度降低时
使用外部干扰抑制功能将温度变化控制在最低限度 使用外部干扰抑制功能将温度变化控制在最低限度